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          泵閥資料

        真空漏孔的校準步驟――比擬法

        真空漏孔的校準步驟――比擬法
           比擬法校準真空漏孔時,要將從真空漏孔流出的氣體產生的效應與參考規范相比。為防止測量儀器的非線性和漂移帶來的誤差,參考規范應與真空漏孔的值盡可能瀕臨。
        靜態比擬法
        氣體微流量表靜態比擬法
           如圖6所示,順次將真空漏孔流出的氣體QL和氣體微流量表流出的氣體Q,別離引人到一個真空室中,再經過限流孔被真空泵抽走,比擬它們在真空室中產生的靜態失調壓力輸入信號(別離為HL和Hs),而后用式(9)劃算出真空漏孔的漏率。
        QL=(HL/Hs)Qs (9)
        此步驟中,要害技能之一在乎氣體微流量表。表1是美國規范技能鉆研院(NIST)、德國物理技能鉆研院(PTB)和中國LIP的比擬法校準真空漏孔安裝的技能指標。
        參考漏孔靜態比擬法
           比擬被校真空漏孔和已知漏率為口,的參考漏孔在檢漏儀中的輸入信號HL和Hs,用式(10)劃算被校真空漏孔的漏率。
        (10)
           式中H0為檢漏儀的本底信號;as和aL別離為參考漏孔和被校漏孔的熱度系數;△Ts,和△TL別離為校正點參考漏孔和被校漏孔與參考熱度的偏差。那末Qs、和QL無比瀕臨,則此步驟中最大的誤差源來自Qs的量值,因而作為參考規范用的參考漏孔務必定期用氣體微流量規范或其余高精度的相對式漏率規范繼續校準。這種步驟容易實用,許多漏孔校準試驗室都用它對實用型參考漏孔(作為非傳.遞規范用的參考漏孔)繼續校準。
        動態比擬法
        定量氣體動態比擬法
           從被校真空漏孔流出的氣體在體積V內積攢一段工夫后,會構成一個分壓力,用質譜計將此分壓力與規范分壓力繼續比擬,而后可失去真空漏孔的漏率。規范分壓力可用動態收縮法或從已知漏率的漏孔流出氣體累積而失去。
           美國SNL用動態收縮法失掉規范分壓力,如圖7所示。在小容器V.內充入壓力為Pt的校準氣體(深淺為C)收縮到大容器V中作為規范壓力。歷次校正點,用小容器V.從大容器V中取樣,而后動態收縮到Vm中,由質譜計測量其分壓力信號Hs;再將被校參考漏孔通過工夫△t后在體積V.x。二中累積的氣體動態收縮到Vm中,由質譜計測量其分壓力信號Hx。最初用下式劃算被校參考漏孔的漏率QL
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